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离子注入机是2014年国务院《国家集成电路产业发展推进纲要》明确要求重点发展的三种装备(光刻机、刻蚀机、离子注入机)之一,凯世通立足正向设计、持续创新,实现了国产低能大束流离子注入机系列装备与高能离子注入机产业化,不断收获多家12英寸主流晶圆厂客户复购订单,有力支撑了相关芯片制造企业与国家重点工程安全可持续生产。与此同时,凯世通积极发挥“链主”企业功能,联合上下游企业、科研院所开展新技术、新产品研发,加速推进关键零部件国产化,不断提升离子注入机自主可控水平。 (图:雅迪安徽智能产研基地) 泰国
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